常州时创新材料有限公司余伟获国家专利权
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龙图腾网获悉常州时创新材料有限公司申请的专利一种IC铜制程CMP后的清洗液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116855320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310702798.3，技术领域涉及：C11D3/30；该发明授权一种IC铜制程CMP后的清洗液及其制备方法是由余伟;王小军设计研发完成，并于2023-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种IC铜制程CMP后的清洗液及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种IC铜制程CMP后的清洗液组合物的制备方法，其中清洗液组合物包括：表面活性剂，润湿剂，有机膦螯合剂，有机胺螯合剂，季铵碱液，有机溶剂，消泡剂，pH调节剂，余量为水；季铵碱液为由以下方法直接制备所得的含THEMAH的组合物，该方法包括：以甲胺、甲基乙醇胺和甲基二乙醇胺中的一种或多种为原料之一，在不含催化剂二氧化硅的情况下，与环氧乙烷反应，反应温度为20‑100℃。本发明还公开季铵碱液的制备方法。利用了反应自身放热的特点，控温更容易，操作方便，能耗更低，在不采用二氧化硅等催化剂的情况下，产品中乙二醇等副产物较少，还可以降低环氧乙烷积聚的风险。获得的含THEMAH的季铵碱液，其成分含量比例可以直接符合普遍认同的清洗液规格。
本发明授权一种IC铜制程CMP后的清洗液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种IC铜制程CMP后的清洗液组合物的制备方法，其中所述清洗液组合物包括：PVP0.01％～1％，润湿剂0.01％～0.5％，有机膦螯合剂0.01％～2％，有机胺螯合剂0.1％～5％，季铵碱液5％～10％，有机溶剂1％～15％，消泡剂0.01％～0.1％，pH调节剂0.5％～1.0％，余量为水，按质量百分含量计算；所述季铵碱液为由以下方法直接制备所得的含三2–羟乙基甲基氢氧化铵的组合物，该方法包括：以甲胺为原料，在不含催化剂二氧化硅的情况下，与环氧乙烷反应；所述甲胺和环氧乙烷的摩尔比为1:2–5；控温方式为：室温下通入环氧乙烷，物料温度上升，不额外加热，控制反应体系温度为40–60℃，反应时间为2–4小时，所述方法还包括加入水，水和甲胺的摩尔比为4.6–6.7。
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