河南海川工程设计院有限公司张建军获国家专利权
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龙图腾网获悉河南海川工程设计院有限公司申请的专利一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法及电子级甲基硅烷获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116640164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310702146.X，技术领域涉及：C07F7/08；该发明授权一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法及电子级甲基硅烷是由张建军;张潇瀚;马万顺设计研发完成，并于2023-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法及电子级甲基硅烷在说明书摘要公布了：本发明公开了一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法，包括甲基二氯硅烷在催化剂的作用下，发生氢氯原子重排反应，反应产物经分离制得电子级甲基硅烷。本发明通过催化氢氯原子重排，在催化剂作用下，一步反应制备甲基硅烷，无固体副产物，转化效率高，整个系统为密闭系统，物料通过泵或压差在系统内输送，易于全自动化控制，操作安全、稳定。生产成本低廉，容易制得满足半导体行业要求的电子级产品。整个工艺过程，逻辑通顺，运行安全可靠，各个反应产物的分离提纯清晰、明确，提纯过程简单高效，通过单步精制即可得到纯度≥99.999％满足半导体要求的电子级甲基硅烷。
本发明授权一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法及电子级甲基硅烷在权利要求书中公布了：1.一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法，其特征在于，所述方法包括甲基二氯硅烷在催化剂的作用下，发生氢氯原子重排反应，反应产物经分离、提纯制得电子级甲基硅烷；所述催化剂为弱碱性苯乙烯系阴离子交换树脂；所述分离、提纯包括以下步骤： 1将反应产物初馏提纯，获得轻组分和重组分； 2轻组分经一级冷凝，得到甲基一氯硅烷，甲基一氯硅烷经精馏提纯，再次进行所述氢氯重排反应； 3轻组分经二级冷凝，得到甲基硅烷，甲基硅烷经精馏提纯，得到电子级甲基硅烷； 所述重组分经精馏提纯，分离出相对轻组分甲基二氯硅烷和相对重组分甲基三氯硅烷；相对轻组分甲基二氯硅烷作为原料再次进行所述氢氯重排反应。
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