中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司罗连波获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利测试版图信息的形成方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116560194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210113690.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权测试版图信息的形成方法及系统是由罗连波设计研发完成，并于2022-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试版图信息的形成方法及系统在说明书摘要公布了：一种测试版图信息的形成方法及系统，其中系统包括：输入模块，用于提供测试版图，测试版图中具有若干图形阵列，且各图形阵列中具有若干测试图形；尺寸获取模块，用于获取测试版图中各图形阵列的图形阵列尺寸、以及各测试图形的图形几何尺寸；阵列化处理模块，用于对图形几何尺寸和图形阵列尺寸进行阵列化处理，得到初始图形阵列信息，初始图形阵列信息中包括对应的图形阵列中各测试图形的顶点坐标；格式转换模块，对各顶点坐标进行格式转化处理，使得各顶点坐标的格式转化为光学临近修正模型可读格式，形成测试版图信息。通过格式转换模块不需要针对不同的第三方处理软件提供的工具接口撰写对应的可读文本，降低了工作量，进而提升了测试效率。
本发明授权测试版图信息的形成方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种测试版图信息的形成方法，其特征在于，包括： 提供测试版图，所述测试版图中具有若干图形阵列，且各所述图形阵列中具有若干测试图形； 获取所述测试版图中各所述图形阵列的图形阵列尺寸、以及各所述测试图形的图形几何尺寸； 对所述图形几何尺寸和所述图形阵列尺寸进行阵列化处理，得到初始图形阵列信息，所述初始图形阵列信息中包括对应的所述图形阵列中各所述测试图形的顶点坐标； 遍历各所述初始图形阵列信息，对各所述顶点坐标进行格式转化处理，使得各所述顶点坐标的格式转化为光学临近修正模型可读格式，以及使得各所述初始图形阵列信息转换为图形阵列信息，形成测试版图信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：300385 天津市西青区天津市西青经济开发区兴华道19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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