细美事有限公司梁孝源获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利光掩模修正装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116413997B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211023392.4，技术领域涉及：G03F1/72；该发明授权光掩模修正装置及方法是由梁孝源;尹铉;郑志勳;郑仁基;崔基熏;金泰熙;吴世勳设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模修正装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种能够提高光掩模的精度的光掩模修正方法。该光掩模修正方法包括：测量激光的强度轮廓intensityprofile；利用库来获取与所测量的强度轮廓对应的蚀刻量数据；基于蚀刻量数据确定激光的工艺参数；以及根据所确定的工艺参数，用激光来修正光掩模。
本发明授权光掩模修正装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模修正方法，包括以下步骤： 测量激光的强度轮廓； 利用库来获取与所测量的强度轮廓对应的蚀刻量数据； 基于所述蚀刻量数据，确定所述激光的工艺参数；以及 根据所确定的工艺参数，用所述激光来修正光掩模； 其中，利用所述激光来修正所述光掩模的步骤包括： 在所述光掩模上形成由化学液形成的液膜， 所述光掩模包括彼此不同的第一区域和第二区域，其中，通过所述激光将所述第一区域的液膜加热第一照射时间，以及通过所述激光将所述第二区域的液膜加热比所述第一照射时间长的第二照射时间。
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