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龙图腾网获悉深圳市汉诺克精密科技有限公司申请的专利一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190262B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211607415.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴是由王泽斌;张军华;肖康设计研发完成，并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴在说明书摘要公布了：本发明公开了一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴，其芯轴的外壁与进气轴承的内壁之间的气浮间隙与外部的气源装置连通。芯轴的第一端同轴固定有电机转子，电机转子位于电机定子的内侧。电机定子内周壁上的若干铁芯凸起部上均绕设与外部机台的控制端电性连接的线圈。电机转子包括若干固定在芯轴外周壁上的永磁体。缸筒内同轴设有水套，水套的外壁上靠近电机定子设有冷却水道，冷却水道与外部的循坏供水装置连接。本发明的有益效果：电机转子的永磁体采用贴片式结构固定在芯轴的外壁上，在同等功率输出的情况下，该电机结构的高次谐波更小，输出功率更稳定。电机定子固定在水套的内壁，可实现对电机水冷快速散热，提高电机运转精度。

本发明授权一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴在权利要求书中公布了：1.一种空气悬浮的精密晶圆划切电主轴，其特征在于，包括：缸筒，所述缸筒内固定有进气轴承和电机定子，所述进气轴承内转动设有芯轴，所述芯轴的外壁与所述进气轴承的内壁之间设有气浮间隙，所述进气轴承的外壁设有与所述气浮间隙连通的导气孔，所述缸筒的内部设有与所述导气孔连通的第一气道，所述第一气道与外部的气源装置连通；所述芯轴的第一端同轴固定有电机转子，所述电机转子位于所述电机定子的内侧，所述芯轴的第二端伸出所述缸筒而与划切刀具连接；所述电机定子内周壁上均布有若干铁芯凸起部，所述铁芯凸起部上绕设有线圈，所述线圈与外部机台的控制端电性连接；所述电机转子包括与若干所述铁芯凸起部一一对应的永磁体，若干所述永磁体固定在所述芯轴的第一端外周壁上；所述缸筒内同轴设有水套，所述水套的外壁与所述缸筒的内壁密封贴合，所述电机定子的外壁与所述水套的内壁紧密贴合；所述水套的外壁上靠近所述电机定子的区域设有冷却水道，所述缸筒的内部开设有与所述冷却水道的两端分别连通进水通道和出水通道，所述进水通道和出水通道与外部的循坏供水装置连接。

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