中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司贺婷获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请的专利自动测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116165847B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111417011.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权自动测量方法是由贺婷;张帆;张迎春;王健设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动测量方法在说明书摘要公布了：一种自动测量方法，包括：获取待测量图像，所述待测量图像内具有待测量图形；对所述待测量图形进行第一轮廓提取，获取第一轮廓图形；提供目标版图，所述目标版图内具有若干目标图形；根据待测量图像的坐标，将所述第一轮廓图形与目标版图进行第一对准，所述目标图形与第一轮廓图形相对应；对所述待测量图形进行第二轮廓提取，获取第二轮廓图形，所述第二轮廓图形与目标图形对应；获取目标图形与第二轮廓图形之间的第一偏移量和第二偏移量；根据所述第一偏移量和第二偏移量对所述第二轮廓图形进行第二对准；进行第二对准之后，根据目标图形对所述第二轮廓图形进行量测。所述方法的测量准确性提升。
本发明授权自动测量方法在权利要求书中公布了：1.一种自动测量方法，其特征在于，包括： 获取待测量图像，所述待测量图像内具有待测量图形； 对所述待测量图形进行第一轮廓提取，获取第一轮廓图形； 提供目标版图，所述目标版图内具有若干目标图形； 根据待测量图像的坐标，将所述第一轮廓图形与目标版图进行第一对准，所述目标图形与第一轮廓图形相对应； 对所述待测量图形进行第二轮廓提取，获取第二轮廓图形，包括：根据目标图形与第一轮廓图形相对应的关系，获取待测量图形与目标图形相对应的关系；对所述待测量图像进行图像增强处理；根据图像强度分布对所述待测量图形进行第二轮廓提取，获取第二轮廓图形，所述第二轮廓图形与目标图形对应； 获取目标图形与第二轮廓图形之间的第一偏移量和第二偏移量； 根据所述第一偏移量和第二偏移量对所述第二轮廓图形进行第二对准； 进行第二对准之后，根据目标图形对所述第二轮廓图形进行量测。
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