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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利激光加工装置、及激光加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116113517B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180060941.2，技术领域涉及：H10P54/20；该发明授权激光加工装置、及激光加工方法是由坂本刚志;佐野育;杉浦银治设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光加工装置、及激光加工方法在说明书摘要公布了：本发明是用于对对象物照射激光来形成改性区域的激光加工装置，其具备：用于支撑所述对象物的支撑部、用于朝向被所述支撑部支撑的所述对象物照射所述激光的照射部、用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动的移动部、以及用于控制所述移动部及所述照射部的控制部。所述对象物具有结晶结构，该结晶结构含有：100面、一个110面、另一个110面、与所述一个110面正交的第1结晶方位、和与所述另一个110面正交的第2结晶方位，并且所述对象物是以所述100面成为所述激光的入射面的方式支撑于所述支撑部。

本发明授权激光加工装置、及激光加工方法在权利要求书中公布了：1.一种激光加工装置，其中， 是用于对对象物照射激光来形成改性区域的激光加工装置， 具备： 支撑部，其用于支撑所述对象物； 照射部，其用于朝向被所述支撑部支撑的所述对象物照射所述激光； 移动部，其用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动；以及 控制部，其用于控制所述移动部及所述照射部， 所述对象物具有结晶结构，该结晶结构含有：100面、一个110面、另一个110面、与所述一个110面正交的第1结晶方位、和与所述另一个110面正交的第2结晶方位，并且所述对象物以所述100面成为所述激光的入射面的方式支撑于所述支撑部， 在所述对象物，设定有从与所述入射面交叉的Z方向观察时，包含圆弧状的第1区域、及圆弧状的第2区域的圆环状的线，所述第2区域具有与所述第1区域的边界， 所述照射部具有：成形部，其以从所述Z方向观察时，所述聚光区域具有长边方向的方式，成形所述激光， 所述控制部实行： 第1加工处理，其通过控制所述照射部及所述移动部，而沿着所述线中的所述第1区域使所述聚光区域相对移动，从而沿着所述第1区域在所述对象物形成所述改性区域，并从该改性区域朝向与所述对象物的所述入射面为相反侧的相反面，形成相对于所述Z方向斜向延伸的斜向龟裂；以及 第2加工处理，其通过控制所述照射部及所述移动部，而沿着所述线中的所述第2区域使所述聚光区域相对移动，从而沿着所述第2区域在所述对象物形成所述改性区域，并形成从该改性区域朝向所述相反面延伸的所述斜向龟裂， 在所述第1加工处理及所述第2加工处理中，所述控制部通过控制所述成形部，从而将所述激光成形为：所述聚光区域的所述长边方向以接近所述第1结晶方位及所述第2结晶方位中的、与作为所述聚光区域的移动方向的加工行进方向之间的角度较大的一方的朝向相对于所述加工行进方向倾斜，并通过控制所述移动部，从而在所述第1加工处理和所述第2加工处理中使所述加工行进方向的顺逆成为相同， 当将所述第2结晶方位与所述线正交的点设为0°，将所述第1结晶方位与所述线正交的点设为90°，将所述线的所述0°与所述90°的中间的点设为45°时，以在所述第1区域及所述第2区域中，从所述Z方向观察，所述长边方向的倾斜的朝向相对于所述加工行进方向与所述斜向龟裂的延伸侧成为同侧的一方包含所述45°的点的方式，设定所述第1区域和所述第2区域的所述边界。

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