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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利混合气体供应系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116066744B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310219896.1，技术领域涉及：F17D1/04；该发明授权混合气体供应系统是由范威威;纪雪峰;陈亮设计研发完成，并于2023-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本混合气体供应系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种混合气体供应系统，包括第一进气管路、第二进气管路、混合管、缓冲罐、混合气供气管路、第一气体分析仪、第二气体分析仪和控制模块；所述第一进气管路上设有第一质量流量控制器，所述第二进气管路上设有第二质量流量控制器，所述第一气体分析仪、所述第二气体分析仪、所述第一质量流量控制器和所述第二质量流量控制器均与所述控制模块信号连接。该混合气体供应系统能够及时检测混合气体的参数是否达标，并根据当前混合气体的参数及时调整供气流量，使混合气体的参数处于设定范围内并保持稳定，从而提高系统的可靠性和生产的稳定性。

本发明授权混合气体供应系统在权利要求书中公布了：1.一种混合气体供应系统，其特征在于，包括用于输送第一类工艺气体的第一进气管路11、用于输送第二类工艺气体的第二进气管路12、混合管3、缓冲罐4、用于连接工艺机台的混合气供气管路15、第一气体分析仪61、第二气体分析仪62和控制模块7； 所述第一进气管路11与所述第二进气管路12并联后与所述混合管3的入口连通，所述混合管3的出口通过混合气进口管路13与所述缓冲罐4的入口连通，所述缓冲罐4的出口通过混合气出口管路14与所述混合气供气管路15连通；所述第一气体分析仪61与所述混合气进口管路13连通，所述第一气体分析仪61用于检测经所述混合管3初步混合后的混合气体的成分比例和或浓度值；所述第二气体分析仪62与所述混合气出口管路14连通，所述第二气体分析仪62用于检测经所述缓冲罐4二次混合后的混合气体的成分比例和或浓度值； 所述缓冲罐4的底部设有气体入口41和气体出口42，所述缓冲罐4内设有内管43，所述内管43由所述缓冲罐4内的底部延伸至所述缓冲罐4内的顶部，且所述内管43在所述缓冲罐4内倾斜设置，所述内管43的底端通过所述气体入口41与所述混合气进口管路13连通，所述内管43的顶端出口位于所述缓冲罐4内的顶部位置；所述缓冲罐4的气体出口42与所述混合气出口管路14连通； 所述第一进气管路11上设有第一质量流量控制器63，所述第二进气管路12上设有第二质量流量控制器64，所述第一气体分析仪61、所述第二气体分析仪62、所述第一质量流量控制器63和所述第二质量流量控制器64均与所述控制模块7信号连接； 当所述第二气体分析仪62检测到所述缓冲罐4二次混合后的混合气体的成分比例和或浓度值在设定范围内时，所述缓冲罐4内的混合气体经所述混合气出口管路14输送至所述混合气供气管路15；当所述第二气体分析仪62检测到所述缓冲罐4二次混合后的混合气体的成分比例和或浓度值不在设定值范围内时，所述控制模块7根据所述第二气体分析仪62检测到的混合气体的成分比例和或浓度值与设定值之间的差值控制所述第一质量流量控制器63和或所述第二质量流量控制器64调节其流量开度； 所述混合气体供应系统还包括泄放模块9，所述泄放模块9与所述混合气出口管路14连通；当所述第二气体分析仪62检测到所述缓冲罐4二次混合后的混合气体的成分比例和或浓度值不在设定范围内时，所述缓冲罐4内的混合气体经所述混合气出口管路14通过所述泄放模块9排出； 所述泄放模块9包括压缩气体管路92，所述压缩气体管路92的一端设有压缩气体进口921，所述压缩气体管路92的另一端设有排放口922，所述压缩气体管路92上设有真空发生器93，所述混合气出口管路14通过连接管路96与所述真空发生器93连通，所述真空发生器93用于产生负压以将所述混合气出口管路14内的气体吸引至所述真空发生器93内并经所述排放口922排出； 所述混合气出口管路14上设有第一压力计21，所述连接管路96上设有第一气动隔膜阀51，所述第一压力计21和所述第一气动隔膜阀51均与所述控制模块7信号连接；当所述第一压力计21检测到的压力值在一段时间内未发生变化时，所述控制模块7控制所述第一气动隔膜阀51自动打开，以将所述缓冲罐4内的混合气体经所述排放口922排出。

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