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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981111B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310007185.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法是由叶飞;项宗齐;曲鲁杰设计研发完成，并于2023-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法，包括机架，该机架沿长度方向上下布置有第一水平导轨和第二水平导轨；设置在机架中部的第一吸附组件，该第一吸附组件能够沿着第一水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；设置在机架中部的第二吸附组件，该第二吸附组件能够沿着第二水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；以及设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧。通过在基材悬空的中间部位设置起支撑作用的吸附组件，还能够对基材进行吸附，并且在基材两端设置端部夹紧机构，从而使得在曝光过程中基材被有效限位，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移。

本发明授权料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法在权利要求书中公布了：1.一种采用料带支撑装置的双面卷对卷曝光方法，基材在曝光区域包括第一条带、第二条带和第三条带，其特征在于： 所述料带支撑装置包括：机架，该机架沿长度方向上下布置有第一水平导轨和第二水平导轨；设置在机架中部的第一吸附组件，该第一吸附组件能够沿着第一水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；设置在机架中部的第二吸附组件，该第二吸附组件能够沿着第二水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；以及设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧； 所述第一吸附组件包括用于对基材悬空的中间部位进行支撑的带有吸附孔的多个第一横梁，多个第一横梁的两端设置有一对第一侧边梁，该第一侧边梁的一端设置有第一安装横梁，该第一安装横梁与第一驱动机构的伸缩端固定连接，所述第一驱动机构能够带动第一侧边梁沿着所述第一水平导轨移动；所述第二吸附组件包括用于对基材悬空的中间部位进行支撑的带有吸附孔的多个第二横梁，多个第二横梁的两端设置有一对第二侧边梁，该第二侧边梁远离所述第一安装横梁的一端设置有第二安装横梁，该第二安装横梁与第二驱动机构的伸缩端固定连接，所述第二驱动机构能够带动第二侧边梁沿着所述第二水平导轨移动； 所述双面卷对卷曝光方法包括如下步骤： S1、第一吸附组件对第二条带进行吸附，第二吸附组件对第三条带进行吸附，然后对第一条带进行双面曝光； S2、保持第二吸附组件对第三条带进行吸附，第一吸附组件移动到第一条带下对第一条带进行吸附，然后对第二条带进行双面曝光； S3、保持第一吸附组件对第一条带进行吸附，第二吸附组件移动到第二条带下对第二条带进行吸附，然后对第三条带进行双面曝光； S4、第一吸附组件和第二吸附组件分别移动到第二条带和第三条带下，进行下一组基材的曝光。

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