南京云创大数据科技股份有限公司李四明获国家专利权
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龙图腾网获悉南京云创大数据科技股份有限公司申请的专利一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115857282B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211619304.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构是由李四明;刘思成;刘鹏设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，包括支撑板，支撑板内部开设有凹槽，凹槽内部滑动设置有第一滑块，且第一滑块末端固定设置有角度调节箱，且角度调节箱内部设置有角度调节结构，角度调节结构用于调节角度偏移大小，且角度调节箱末端活动设置有横板，第一滑块底部固定设置有连接板，连接板末端连接设置有膜片移动机构，膜片移动机构用于对膜片的位置进行移动。本发明，通过设置有膜片移动机构可以对膜片进行移动，减少了膜片单一位置受热造成损害的情况发生，从而减少了后期更换膜片的的此时，减少了后期维护成本，并且由于设置了角度调节结构对膜片的水平角度进行调节，可以应对不同角度雕刻的需求，从而提高了装置的适用性。
本发明授权一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，其特征在于：包括支撑板1，所述支撑板1内部开设有凹槽2，所述凹槽2内部滑动设置有第一滑块3，且第一滑块3末端固定设置有角度调节箱4，且角度调节箱4内部设置有角度调节结构，所述角度调节结构用于调节角度偏移大小，且角度调节箱4末端活动设置有横板7，所述横板7表面开始有滑槽17，且滑槽17表面滑动设置有第二滑块16，且第二滑块16表面固定设置有支架15，所述支架15末端固定设置有夹杆13，且夹杆13之间卡接设置有膜片9； 所述第一滑块3底部固定设置有连接板23，所述连接板23末端连接设置有移位机构，所述移位机构用于对膜片9的位置进行移动。
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