华天科技(南京)有限公司李争获国家专利权
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龙图腾网获悉华天科技(南京)有限公司申请的专利避免FC封装因应力产生芯片层裂纹的解决方法及其结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115799170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211605272.5,技术领域涉及:H10W70/05;该发明授权避免FC封装因应力产生芯片层裂纹的解决方法及其结构是由李争;王三虎;董渊博;王井强;张胡博设计研发完成,并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本避免FC封装因应力产生芯片层裂纹的解决方法及其结构在说明书摘要公布了:本发明提供一种避免FC封装因应力产生芯片层裂纹的解决方法及其结构,包括以下步骤:根据再分布层生长应力光学薄膜应力模型的假设,当再分布层厚度≥10μm时,再分布层生长应力与再分布层厚度成正比,再分布层内应力随再分布层厚度的增加而增大,将再分布层厚度从10μm减小至3‑8μm以能够减少对芯片线路层的应力;其工艺方法简单,有效降低再分布层薄膜内应力对产品的影响,避免了芯片金属层裂纹异常导致失效的问题出现,有效避免硅基芯片的结构损坏造成产品失效的损失。
本发明授权避免FC封装因应力产生芯片层裂纹的解决方法及其结构在权利要求书中公布了:1.一种避免FC封装因应力产生芯片层裂纹的解决方法,其特征在于,包括以下步骤:根据再分布层生长应力光学薄膜应力模型的假设,当再分布层厚度≥10μm时,再分布层生长应力与再分布层厚度成正比,再分布层内应力随再分布层厚度的增加而增大,将再分布层厚度从10μm减小至3-8μm以能够减少对芯片线路层的应力;所述再分布层与氧化层的线路连接处无拐角;所述再分布层为在硅基体上电沉积的铜薄膜。
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