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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种原位无线光掩膜版测温传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115615576B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211338555.8，技术领域涉及：G01K13/00；该发明授权一种原位无线光掩膜版测温传感器是由夏子奂;邓晨辉;连超;王桂华设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种原位无线光掩膜版测温传感器在说明书摘要公布了：本发明提供一种原位无线光掩膜版测温传感器，用于测量光掩膜版1的温度，其特征在于，至少包括：一光掩膜版1，所述光掩膜版1上集成1个或多个温度传感器3；温度数据处理模块5，用于与所述温度传感器3连接并通讯，采集所述温度传感器3的温度数据；以及电池6，其用于至少向所述处理模块5提供电力。本发明提供的传感器可以无线监测掩膜的温度分布，该传感器外形与普通光掩膜版一致，可以通过机械手传片至半导体芯片加工位置，在实际工艺原位进行无线温度测量。

本发明授权一种原位无线光掩膜版测温传感器在权利要求书中公布了：1.一种原位无线光掩膜版测温传感器，用于测量光掩膜版1的温度，其特征在于，至少包括： 一光掩膜版1，其表面开设多个盲孔； 柔性电路板2，所述柔性电路板2设置于所述光掩膜版1上； 多个温度传感器3，嵌入高度以及尺寸与所述温度传感器3匹配的盲孔内，用于原位测量所述光掩膜版1的温度； 温度数据处理模块5，嵌入高度以及尺寸与所述温度数据处理模块5匹配的盲孔内，用于与所述温度传感器3连接并通讯，采集所述温度传感器3的温度数据；以及 电池6，嵌入高度以及尺寸与所述电池6匹配的盲孔内，用于至少向所述处理模块5提供电力； 所述柔性电路板2内部的导线用于将所述温度传感器3与处理模块5的电路予以连接，以及用于将所述处理模块5与电池6的电路予以连接； 所述处理模块5包括处理器9和无线模块8，所述处理器9用于控制温度采集与所述无线模块8，所述无线模块8用于进行无线通信和或对所述电池6进行无线充电；所述处理模块5由两块硬质印刷电路板PCB与一柔性电路板FPC构成，其中所述FPC作为柔性可弯折连接线连接两块PCB，所述无线模块8和所述处理器9位于其中一块PCB，在另一块PCB上还有一天线7，所述天线7所在PCB可翻折到无线模块和处理器所在PCB上。

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