瑞声开泰科技(武汉)有限公司沈宇获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞声开泰科技(武汉)有限公司申请的专利MEMS压电扬声器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115567856B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211203529.4,技术领域涉及:H04R17/00;该发明授权MEMS压电扬声器是由沈宇;但强;周一苇;李杨设计研发完成,并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS压电扬声器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种MEMS压电扬声器,其包括:基底,具有空腔;振动结构,包括结构层、压电复合层以及柔性层;结构层包括结构板、结构固定部以及具有狭缝的多个结构弹簧;压电复合层包括压电薄膜以及第一电极层和第二电极层;其中,压电薄膜、第一电极层以及第二电极层分别向基底的正投影中相互重合的区域作为压电驱动功能区,柔性层在振动结构的各层的叠设方向上与结构层间隔设置且其正投影完全覆盖多个结构弹簧的狭缝。本发明通过结构弹簧的弹性作用可以释放压电复合层的应力,同时保证整体结构的刚度且不会使整体结构的刚度过低,从而提升MEMS压电扬声器声压级且减少谐波失真,以提升MEMS压电扬声器的性能。
本发明授权MEMS压电扬声器在权利要求书中公布了:1.一种MEMS压电扬声器,其特征在于,包括: 基底,所述基底具有空腔; 振动结构,所述振动结构包括依次叠设于所述基底上方的结构层、压电复合层以及柔性层; 所述结构层包括结构板、环绕所述结构板且与所述结构板间隔的结构固定部以及连接所述结构板和所述结构固定部且具有狭缝的多个结构弹簧;所述结构固定部支撑固定于所述基底,所述结构弹簧及所述结构板向所述基底的正投影完全位于所述空腔的范围内; 所述压电复合层包括压电薄膜以及形成于所述压电薄膜靠近所述结构层一侧的第一电极层和形成于所述压电薄膜远离所述结构层一侧的第二电极层;其中,所述压电薄膜、所述第一电极层以及所述第二电极层分别向所述基底的正投影中相互重合的区域作为压电驱动功能区,所述柔性层在所述振动结构的各层的叠设方向上与所述结构层间隔设置且其正投影完全覆盖多个所述结构弹簧的所述狭缝,所述压电驱动功能区向所述基底的正投影完全位于所述空腔的范围内;所述结构固定部在所述振动结构的各层的叠设方向上向所述基底的正投影不落入所述空腔的范围内;所述柔性层覆盖所述第二电极层远离所述压电薄膜的一侧且至少部分延伸至所述第二电极层的周侧。
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