吉林大学;吉林大学威海仿生研究院韩志武获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学;吉林大学威海仿生研究院申请的专利一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115561484B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211055097.7，技术领域涉及：G01P15/09；该发明授权一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器是由韩志武;李健豪;王泽;薛浩;陈豫;张赫;宋文达;陈友;牛士超;张俊秋;穆正知;李博设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及传感器技术领域，提供一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器，包括边框，边框具有空腔；质量块，质量块设于空腔内并位于空腔的中心；多个变截面悬臂梁，多个变截面悬臂梁设于空腔内并围设于质量块的四周；变截面悬臂梁的中部为无应力区，变截面悬臂梁的两端为应力区，每一变截面悬臂梁两端的应力区分别与质量块和边框连接，变截面悬臂梁两端的应力区布置压电薄膜，压电薄膜上设有叉指电极；多个连接梁，多个连接梁设于所述空腔内，且每一连接梁的两端分别与相邻的变截面悬臂梁的无应力区连接。本发明提高了电荷灵敏度，降低了噪音，还最大限度的抑制横轴串扰，降低了加速度传感器的横轴灵敏度。
本发明授权一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于蛛网结构的MEMS仿生加速度传感器，其特征在于，包括： 边框，所述边框具有空腔； 质量块，所述质量块设于所述空腔内并位于所述空腔的中心； 多个变截面悬臂梁，多个所述变截面悬臂梁设于所述空腔内并围设于所述质量块的四周； 所述变截面悬臂梁的中部为无应力区，所述变截面悬臂梁的两端为应力区，每一所述变截面悬臂梁两端的应力区分别与所述质量块和所述边框连接，所述变截面悬臂梁两端的应力区布置压电薄膜，所述压电薄膜上设有叉指电极； 多个连接梁，多个所述连接梁设于所述空腔内，且每一所述连接梁的两端分别与相邻的所述变截面悬臂梁的无应力区连接。
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