上海微电子装备(集团)股份有限公司刘洋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种激光退火方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115483103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110602448.0，技术领域涉及：H10P95/90；该发明授权一种激光退火方法及设备是由刘洋;黄元昊;刘晓;周伟;苏海业;罗闻设计研发完成，并于2021-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光退火方法及设备在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种激光退火方法及设备。待退火对象包括待补偿区和非补偿区，该激光退火方法包括：在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同。本发明实施例提供的技术方案可以增大有效退火面积，提高器件良率。
本发明授权一种激光退火方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种激光退火方法，其特征在于，待退火对象包括待补偿区和非补偿区；所述激光退火方法包括： 在对所述待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使所述待补偿区的最高退火温度与所述非补偿区的热平衡温度相同； 在对所述待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使所述待补偿区的最高退火温度与所述非补偿区的热平衡温度相同包括： 根据所述热平衡温度、所述待补偿点的最高退火温度、以及预设能量密度值确定所述待补偿点的能量密度补偿值； 根据所述能量密度补偿值和所述预设能量密度值确定所述待补偿点的实际能量密度值； 在所述待补偿点处，控制激光模块输出能量密度值为所述实际能量密度值的激光。
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