常州时创能源股份有限公司张永红获国家专利权
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龙图腾网获悉常州时创能源股份有限公司申请的专利扩散载源气体的控制系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115407805B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211091442.2，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权扩散载源气体的控制系统及方法是由张永红;任常瑞;符黎明设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩散载源气体的控制系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种扩散载源气体的控制系统，包括：源瓶，向源瓶底部供载源用气体的供气管，对源瓶进行实时称重的称重单元，根据称重单元所得实时重量对设定流量进行实时修正的流量调节单元。本发明还提供一种扩散载源气体的控制方法。本发明能对扩散通源进行实时监控和动态调整，响应更快，工艺稳定性好。本发明可提高扩散工艺的稳定性，可减少扩散异常，减少方阻异常造成的返工比例。
本发明授权扩散载源气体的控制系统及方法在权利要求书中公布了：1.扩散载源气体的控制系统，其特征在于，包括： 源瓶，其用于存放液态扩散源，且顶部设有载源气体输出端； 供气管，其向源瓶底部供载源用气体； 称重单元，其对存放有液态扩散源的源瓶进行实时称重并得到实时重量； 流量调节单元，其接收对供气管进行流量控制的设定流量，并根据称重单元所得的实时重量对设定流量进行实时修正，得到实时修正流量，使实时修正流量与设定流量和称重单元所得实时重量的对应关系符合预设公式，并将供气管中的气体流量调节为实时修正流量； 所述预设公式为： 其中，LX为实时修正流量，L1为设定流量，M瓶为空源瓶的重量，M0为存放了液态扩散源的源瓶的原始总重量，MX为称重单元所得的实时重量，h0为供气管输出端与源瓶内底面的高度差，S为源瓶内底面的面积，ρ源为源瓶中液态扩散源的密度。
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