株式会社日立高新技术海老塚泰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利缺陷检查装置以及缺陷检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115219537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210349312.8，技术领域涉及：G01N23/2251；该发明授权缺陷检查装置以及缺陷检查方法是由海老塚泰;新藤博之;荫谷龙吾设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检查装置以及缺陷检查方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种缺陷检查装置以及缺陷检查方法，其在合成图像中能够检查多种多样的缺陷种类。该缺陷检查装置将来自第一检测器的第一检测信号和来自第二检测器的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像，并且将所述第一检测信号和所述第二检测信号以与所述第一合成比率不同的第二合成比率进行合成而生成第二合成图像。然后，基于所述第一合成图像生成第一检查图像，并且基于所述第二合成图像生成第二检查图像。并且，执行所述第一检查图像和所述第二检查图像的逻辑运算来生成合成检查图像。对所述合成检查图像执行缺陷判定。
本发明授权缺陷检查装置以及缺陷检查方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检查装置，其特征在于，具备： 图像合成部，其针对设为缺陷检查的对象的区域，将通过对所述区域照射电子束而由第一检测器检测出的第一检测信号和由第二检测器检测出的第二检测信号以第一合成比率进行合成而生成第一合成图像，并且将所述第一检测信号和所述第二检测信号以与所述第一合成比率不同的第二合成比率进行合成而生成第二合成图像； 缺陷检查处理部，其基于所述第一合成图像和对所述第一合成比率进行了最佳化的检查参数来生成第一检查图像，并且基于所述第二合成图像和对所述第二合成比率进行了最佳化的检查参数来生成第二检查图像； 检查图像运算部，其执行所述第一检查图像和所述第二检查图像的逻辑运算来生成合成检查图像；以及 缺陷判定处理部，其对所述合成检查图像执行缺陷判定， 所述第一检测器是二次电子检测器，所述第二检测器是后方散射电子检测器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社日立高新技术，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励