上海中科飞测半导体科技有限公司陈贵龙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利一种承载卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928803U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520108471.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种承载卡盘是由陈贵龙;张鹏斌;董坤玲设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载卡盘在说明书摘要公布了：一种承载卡盘，包括基体和基板；其中，基体包括中心部和环绕中心部的边缘部，边缘部的上表面覆有防静电膜层；基板设置于中心部上，包括吸附板和环绕吸附板的密封环；吸附板远离中心部一侧的表面与密封环远离中心部一侧的表面平齐，防静电膜层的上表面不高于密封环远离中心部一侧的表面。基于防静电膜层赋予基体防静电能力，利用防静电膜层的上表面不高于密封环及吸附板表面的结构特点，可在磨削基板时避免磨损防静电膜层，保证承载卡盘朝向工件一侧的表面全部区域具有防静电功能；同时，利用密封环既可以降低吸附板与基体的结合处发生真空泄漏的风险，以提高承载卡盘的密封性，又能够避免工件的边缘接触基体，进一步降低工件受到静电污染的风险。
本实用新型一种承载卡盘在权利要求书中公布了：1.一种承载卡盘，其特征在于，包括： 基体，包括中心部和环绕所述中心部的边缘部，所述边缘部的上表面覆有防静电膜层； 以及基板，设置于所述中心部上，所述基板包括吸附板和环绕所述吸附板的密封环，所述吸附板远离所述中心部一侧的表面与所述密封环远离所述中心部一侧的表面平齐，所述防静电膜层的上表面不高于所述密封环远离所述中心部一侧的表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海中科飞测半导体科技有限公司，其通讯地址为：200000 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区玉宇路1068号、飞渡路1568号、天高路1111号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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