瑞材(厦门)科技有限公司李敏宣获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞材(厦门)科技有限公司申请的专利一种拆装方便的晶圆镀膜治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223928799U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520236818.7,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种拆装方便的晶圆镀膜治具是由李敏宣;赵腾飞;陈华鑫设计研发完成,并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种拆装方便的晶圆镀膜治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种拆装方便的晶圆镀膜治具,属于晶圆镀膜技术领域,包括底座,底座上设有盖板。通过设置的夹持结构、驱动组件和连接杆,进行晶圆的装夹时,下压驱动组件带着连接杆运动,从而推着夹持结构中的活动块以及夹持杆移动让位,便于快速的放置晶圆,晶圆放置后,在弹簧的作用下,活动块和夹持杆运动,夹持杆对晶圆进行夹持固定,晶圆镀膜后,直接拿取拆卸即可,可以达到快速拆装晶圆的效果,同时采用弹性夹持的方式实现晶圆的固定,不会因为夹持力度过大造成晶圆的损坏,采用调节组件,可以利用调节螺杆驱动着活动座移动,进而改变活动座的相对位置,能够改变最终夹持晶圆时弹簧施加的作用力,使用适配性高。
本实用新型一种拆装方便的晶圆镀膜治具在权利要求书中公布了:1.一种拆装方便的晶圆镀膜治具,包括底座1,所述底座1上设有盖板2,且盖板2上固定有放置座3,其特征在于:所述底座1的内部设置有夹持结构4,且底座1的底部固定有六角柱5,所述六角柱5上连接有驱动组件6,且驱动组件6上连接有连接杆7,所述连接杆7的末端转动连接在夹持结构4上。
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