瑞材(厦门)科技有限公司李敏宣获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞材(厦门)科技有限公司申请的专利一种晶圆放置台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223928796U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520136773.6,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种晶圆放置台是由李敏宣;赵腾飞;陈华鑫设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆放置台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆放置台,涉及晶圆领域,包括安装底板,安装底板的上端对称固定安装有两个安装导轨,安装底板的上端且在两个安装导轨之间固定安装有盛放台,盛放台由基柱和支撑台面组成,支撑台面固定安装在基柱的上端,两个安装导轨上安装有驱动组件,驱动组件由滑块、驱动气缸、齿条以及传动齿环组成,滑块有两个且分别滑动安装在两个安装导轨上,通过设置由安装底板、安装导轨、盛放台、驱动组件以及夹持组件组成的放置台,能够对不同规格尺寸的晶圆进行固定,从而使得晶圆在放置到支撑台面上时,不易受外力产生移动,进而保证晶圆能够正常检测,且检测结果不易出现偏差,同时还能够保证晶圆有较高的检测效率。
本实用新型一种晶圆放置台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆放置台,包括安装底板1,其特征在于:所述安装底板1的上端对称固定安装有两个安装导轨2,所述安装底板1的上端且在两个安装导轨2之间固定安装有盛放台3,所述盛放台3由基柱7和支撑台面8组成,所述支撑台面8固定安装在基柱7的上端,两个所述安装导轨2上安装有驱动组件4,所述驱动组件4由滑块11、驱动气缸12、齿条13以及传动齿环16组成,所述滑块11有两个且分别滑动安装在两个安装导轨2上,所述齿条13有两个且分别固定安装在两个滑块11上,所述驱动气缸12的活塞杆与其中一个滑块11固定连接,所述传动齿环16转动安装在基柱7上,且所述传动齿环16同时与两个齿条13啮合,两个所述齿条13的上端均固定安装有一个夹持组件5,所述夹持组件5由L形支撑杆14和橡胶气囊15组成,所述橡胶气囊15固定安装在L形支撑杆14的内端。
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