浙江埃纳检测技术有限公司陆城燕获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江埃纳检测技术有限公司申请的专利一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223928795U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421710016.7,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具是由陆城燕;朱琪;赵康杰设计研发完成,并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具,涉及晶圆加工,旨在解决缺少对于圆晶离心向的限制,当转速较快时,存在因离心力导致晶圆移动的隐患,其技术方案要点是:一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具,包括旋转盘,所述旋转盘的边沿等角度设置有至少三个限位组件,所述限位组件包括固定座、摆动连接于固定座的摆动座、设置于摆动座的支撑柱以及导向卡紧柱,所述摆动座设置有配重块。本实用新型的一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具,装入圆晶更加便利,并有效消除转速较快时晶圆移动的隐患。
本实用新型一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具在权利要求书中公布了:1.一种利用离心力提升夹紧力的晶圆夹具,包括旋转盘1,其特征在于:所述旋转盘1的边沿等角度设置有至少三个限位组件,所述限位组件包括固定座2、摆动连接于固定座2的摆动座3、设置于摆动座3的支撑柱4以及导向卡紧柱5,所述摆动座3设置有配重块6。
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