苏州联讯仪器股份有限公司孙金伍获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种晶圆取料装置及晶圆上料设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928791U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520576181.6，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种晶圆取料装置及晶圆上料设备是由孙金伍设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆取料装置及晶圆上料设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆取料装置及晶圆上料设备，涉及晶圆测试技术领域。本实用新型中晶圆取料装置包括基座、牙叉、测力仪器、驱动机构和控制器，牙叉可滑动地安装在基座上，牙叉设置成受控地叉取晶圆，测力仪器的一端与牙叉连接，另一端与基座连接，测力仪器设置成在牙叉与晶圆接触时受到的反作用力大于预设值时进行报警。驱动机构与基座连接，且设置成受控地驱动牙叉移动，控制器设置成在测力仪器报警时控制驱动机构停止驱动牙叉移动。上述技术方案取消了牙叉与基座的硬连接，在牙叉和基座之间增加了测力仪器，利用测力仪器对牙叉受到的反作用力进行监控，可以避免牙叉和晶圆碎裂损坏。
本实用新型一种晶圆取料装置及晶圆上料设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆取料装置，其特征在于，包括： 基座； 牙叉，可滑动地安装在所述基座上，所述牙叉设置成受控地叉取晶圆； 测力仪器，一端与所述牙叉连接，另一端与所述基座连接，所述测力仪器设置成在所述牙叉与所述晶圆接触时受到的反作用力大于预设值时进行报警； 驱动机构，与所述基座连接，且设置成受控地驱动所述牙叉移动； 控制器，分别与所述测力仪器和所述驱动机构连接，所述控制器设置成在所述测力仪器报警时控制所述驱动机构停止驱动所述牙叉移动。
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