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龙图腾网获悉瑞材(厦门)科技有限公司申请的专利一种操作方便的晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928779U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520049699.4，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种操作方便的晶圆清洗装置是由李敏宣;赵腾飞;陈华鑫设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种操作方便的晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种操作方便的晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括超声波清洗设备，超声波清洗设备上安装有升降组件，升降组件上放置有晶圆盛放支架，晶圆盛放支架由支撑板、连接底板、导杆以及晶圆支撑杆组成，支撑板、连接底板、导杆均设置有两个，且连接底板固定安装在支撑板的下端，导杆固定安装在连接底板的下端，晶圆支撑杆有若干个且均转动安装在两个支撑板上，通过设置由支撑板、连接底板、导杆、晶圆支撑杆组成的晶圆盛放支架，从而可以批量的取放晶圆，提升晶圆的取放效率，进而不会出现长时间占用超声波清洗设备的问题，最终能够提升超声波清洗设备的工作效率，进而提升晶圆的清洗效率。

本实用新型一种操作方便的晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种操作方便的晶圆清洗装置，包括超声波清洗设备1，所述超声波清洗设备1上安装有升降组件2，其特征在于：所述升降组件2上放置有晶圆盛放支架3，所述晶圆盛放支架3由支撑板9、连接底板10、导杆11以及晶圆支撑杆12组成，所述支撑板9、连接底板10、导杆11均设置有两个，且所述连接底板10固定安装在支撑板9的下端，所述导杆11固定安装在连接底板10的下端，所述晶圆支撑杆12有若干个且均转动安装在两个支撑板9上，每三个所述晶圆支撑杆12呈倒三角分布，所述晶圆支撑杆12由基杆14、安装轴16以及旋转把手17组成，所述安装轴16有两个且对称固定安装在基杆14的两端，所述旋转把手17有两个且分别固定安装在两个安装轴16的一端，两个所述支撑板9的内端固定安装有若干个清洁组件4，所述清洁组件4位于呈倒三角分布的晶圆支撑杆12的外侧，所述清洁组件4由L形基板18和清洁刷毛19组成，所述清洁刷毛19固定安装在L形基板18的靠近晶圆支撑杆12的一端，且所述清洁刷毛19同时与晶圆支撑杆12接触。

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