厦门思坦集成科技有限公司邱成峰获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门思坦集成科技有限公司申请的专利一种剥离治具及衬底剥离设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223928733U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520367033.3,技术领域涉及:H10H20/01;该实用新型一种剥离治具及衬底剥离设备是由邱成峰设计研发完成,并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种剥离治具及衬底剥离设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种剥离治具及衬底剥离设备,涉及半导体加工技术领域。剥离治具包括底座和夹持结构;夹持结构用于夹持衬底键合结构;至少一个夹持结构沿第一方向活动设置于底座,夹持结构沿第一方向朝向另一夹持结构的一侧均设置有凹槽,凹槽可供衬底键合结构嵌入。上述剥离治具通过在夹持结构的侧面设置凹槽,以供衬底键合结构嵌入,能够在夹持衬底键合结构的同时对衬底键合结构进行限制,使衬底键合结构无法发生大角度偏转,从而使得衬底键合结构能够保持原本的姿态,或者仅发生很小幅度的偏转,不易出现夹持结构施加于衬底键合结构的夹持力偏位的情况,进而使得产品不易出现崩边或者边角薄膜破损、蹭伤的情况,提高产品良率。
本实用新型一种剥离治具及衬底剥离设备在权利要求书中公布了:1.一种剥离治具,其特征在于,包括底座和夹持结构; 所述夹持结构用于夹持衬底键合结构; 至少一个所述夹持结构沿第一方向活动设置于所述底座,所述夹持结构沿所述第一方向朝向另一所述夹持结构的一侧均设置有凹槽,所述凹槽可供所述衬底键合结构嵌入; 其中,所述第一方向为相邻两个所述夹持结构的连线方向。
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