深圳市恒运昌真空技术股份有限公司杨佩铮获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利一种阻抗调整器的输出调节电路获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928291U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422987888.4，技术领域涉及：H03H7/38；该实用新型一种阻抗调整器的输出调节电路是由杨佩铮;林伟群;毛元韬设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阻抗调整器的输出调节电路在说明书摘要公布了：本实用新型属于阻抗调整器输出调节技术领域，具体涉及一种阻抗调整器的输出调节电路，包括射频电极、输入滤波器、和至少两个带通滤波器，通过带通滤波器的设置，能够调节不同频率的输入阻抗，使不同频率的射频信号通过，并通过隔离滤波模块的设置防止射频信号回流过到高压直流源对高压直流源造成干扰；从而通过一个输出调节电路为等离子体处理腔室的静电卡盘提供多种不同频率的射频信号输入，同时为高压直流源提供稳定的接入，使用成本较低，并且单个模块占用体积较小。
本实用新型一种阻抗调整器的输出调节电路在权利要求书中公布了：1.一种阻抗调整器的输出调节电路，其特征在于，包括n个射频电极及与其配对使用的隔离滤波模块、带通滤波模块，所述隔离滤波模块、所述带通滤波模块与所述射频电极数量相同，还包括m个高压直流源，n为≤2的正整数，m为小于等于n的正整数； 所述带通滤波模块连接所述射频电极； 所述带通滤波模块包括至少两个带通滤波器，各个所述带通滤波器通过的频率范围不同； 所述隔离滤波模块连接在所述射频电极和所述高压直流源之间，用于隔离所述高压直流源与流经至少两个所述带通滤波器的频率信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，其通讯地址为：518126 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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