深圳市思坦科技有限公司蔡文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市思坦科技有限公司申请的专利一种承载结构及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223927351U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520097462.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种承载结构及刻蚀设备是由蔡文设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载结构及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种承载结构及刻蚀设备，涉及半导体加工技术领域。承载结构包括电极板、载盘和压环；载盘设置于所述电极板上，所述载盘朝向所述电极板的一侧边缘开设有环状的台阶槽；压环抵压于所述载盘背离所述电极板的一侧，所述压环的内直径R1大于或等于所述台阶槽的内直径R2。本申请提供的承载结构，可避免因电极板被刻蚀造成的冷媒介质流量变化对制程工艺的干扰影响，保证刻蚀工艺条件的稳定，同时，还可以减少电极板的打磨及更换次数，节省大量的设备维护保养费用。
本实用新型一种承载结构及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种承载结构，其特征在于，包括： 电极板； 载盘，设置于所述电极板上，所述载盘朝向所述电极板的一侧边缘开设有环状的台阶槽； 压环，抵压于所述载盘背离所述电极板的一侧，所述压环的内直径R1大于或等于所述台阶槽的内直径R2。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市思坦科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区工业园路1号1栋凯豪达大厦十三层1309；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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