乐华科技股份有限公司佐佐木大辅获国家专利权
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龙图腾网获悉乐华科技股份有限公司申请的专利光罩盒储存装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223926754U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520143012.3,技术领域涉及:G03F1/66;该实用新型光罩盒储存装置是由佐佐木大辅设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩盒储存装置在说明书摘要公布了:本实用新型为一种光罩盒储存装置,包括光罩盒搬运装置、储存装置、光罩储存区、光罩盒储存区、光罩存放盒、透光部、风扇过滤装置、光罩盒开盖装置、光罩搬运装置、光罩洁净通道、光罩感测元件及光罩盒感测元件,借此,通过光罩盒搬运装置及光罩搬运装置,可在光罩盒开盖装置将光罩盒的盖体开启后,将光罩与光罩盒分别存放于光罩存放盒内与光罩盒储存区内,通过光罩感测元件及光罩盒感测元件,可对光罩及光罩盒的置放角度进行补正,避免衍生问题发生,且光罩感测元件可搭配透光部,如此达到无需额外开启光罩存放盒即可在第一时间内得知光罩存放盒数量及有无光罩存放等优势。
本实用新型光罩盒储存装置在权利要求书中公布了:1.一种光罩盒储存装置,其特征在于,包括: 光罩盒搬运装置; 设于所述光罩盒搬运装置一侧的储存装置,包括有光罩储存区、及设于所述光罩储存区一侧的光罩盒储存区,所述光罩储存区内设有数个光罩存放盒,各所述光罩存放盒左右两侧处分别设有透光部; 设于所述储存装置上方的风扇过滤装置; 至少一个设于所述储存装置相异于所述风扇过滤装置一侧的光罩盒开盖装置,以接收至少一个来自所述光罩盒搬运装置所运载过来想要开盖的光罩盒进行放置,并对所述光罩盒上的盖体进行开启动作; 设于所述储存装置一侧,并可对光罩进行接取的光罩搬运装置; 数个分别接合各所述光罩存放盒内的光罩洁净通道,以控制所述光罩存放盒内的温湿度; 数个与所述光罩搬运装置信息连结的光罩感测元件,以供感测所述光罩的存放角度,并由所述光罩搬运装置进行置放角度的微调,且所述光罩感测元件可通过所述透光部判别所述光罩存放盒内有无光罩存放;及与所述光罩盒搬运装置信息连结的光罩盒感测元件,以供感测所述光罩盒的存放角度,并由所述光罩盒搬运装置进行置放角度的微调。
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