无锡芯感智科技股份有限公司杨绍松获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯感智科技股份有限公司申请的专利一种高耐压传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223925898U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520663038.0,技术领域涉及:G01L9/06;该实用新型一种高耐压传感器是由杨绍松;陆小红设计研发完成,并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高耐压传感器在说明书摘要公布了:本申请提供的一种高耐压传感器,其通过在压力传感器的背面空腔处设置硅岛膜结构,使得压力敏感元件都位于应力较大的位置,提高了传感器的灵敏度;同时又在硅岛膜结构上制作了带有六方微孔硅网结构的镂空的SIO膜层,当高速气体冲击这个镂空的SIO膜层时,基于六方微孔硅网结构的微变型缓冲气体的冲击力,但是不会影响气体透过镂空层,有效地保护了压力传感器的感压膜层,提高了压力传感器的使用寿命。本申请中的压力传感器生产成本低,测试灵敏度高,且使用寿命较长。
本实用新型一种高耐压传感器在权利要求书中公布了:1.一种高耐压传感器,其包括:自上而下设置的第二层硅4、第二层隔离层3和第一层硅1,其特征在于: 所述第一层硅1中设置到达第二层隔离层3的空腔,空腔中位于第二层隔离层3的下表面设置硅岛膜结构11;所述硅岛膜结构11的下部设置为镂空结构12; 所述镂空结构12为:带有微孔硅网结构的镂空结构。
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