瑞材(厦门)科技有限公司李敏宣获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞材(厦门)科技有限公司申请的专利一种晶圆厚度检测机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223925697U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520256887.4，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种晶圆厚度检测机台是由李敏宣;赵腾飞;陈华鑫设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆厚度检测机台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆厚度检测机台，属于晶圆厚度检测技术领域，包括机台主体，机台主体上设有支架。通过设置的放置结构，在放置座内部设置联动组件，在放置板上设置弧形孔，配合着联动组件以及夹持杆使用，可以对晶圆进行夹持，保证晶圆在旋转检测的过程具有良好的稳定性，避免出现脱落的情况，联动组件中设置转轴、传动齿轮、扭力弹簧、连接轴和旋转齿轮，进行晶圆的拆装过程中，对其中一个夹持杆进行旋转让位后，对应的旋转齿轮在连接轴上转动，同时通过传动齿轮带着剩余的旋转齿轮旋转，实现所有夹持杆同步运动的效果，在扭力弹簧的作用下，传动齿轮随着转轴旋转，驱动着所有的旋转齿轮以及夹持杆转动复位，实现晶圆的快速装夹。
本实用新型一种晶圆厚度检测机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆厚度检测机台，包括机台主体1，所述机台主体1上设有支架2，且支架2上安装有活动架3，所述活动架3上固定有激光检测器4，其特征在于：所述机台主体1上设有放置结构5，且放置结构5包括放置座501、放置板502、弧形孔503、联动组件504和夹持杆505，所述放置座501与放置板502相连接，所述弧形孔503开设在放置板502上，所述联动组件504设置在放置座501的内部，且联动组件504与夹持杆505相连接。
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