无锡琨圣芯成科技有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣芯成科技有限公司申请的专利一种蒸汽发生装置及晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223925354U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520560118.3，技术领域涉及：F26B21/00；该实用新型一种蒸汽发生装置及晶圆干燥装置是由李鹏;王佳伟设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸汽发生装置及晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种蒸汽发生装置及晶圆干燥装置，其中蒸汽发生装置包括壳体、液态待蒸发介质、第一加热件以及微泡发生器，壳体具有容纳腔和与容纳腔连通的第一出气口，液态待蒸发介质位于容纳腔内，第一加热件用于对容纳腔内的液态待蒸发介质进行加热，微泡发生器位于液态待蒸发介质内，用于在液态待蒸发介质内产生微泡。微泡在浮力的作用下上升，当微泡上升到液态待蒸发介质表面时，由于压力的不平衡以及表面张力的作用，微泡会破裂，微泡破裂产生的能量会使得附着在微泡上的液态待蒸发介质分子获得额外的动能，这些动能使得液态待蒸发介质分子克服分子间的吸引力，从液态转变为气态，从而形成蒸汽。无需提高加热温度，即可大量产生蒸汽。
本实用新型一种蒸汽发生装置及晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸汽发生装置，其特征在于，包括： 壳体，具有容纳腔104和与所述容纳腔104连通的出气口103； 液态待蒸发介质，位于所述容纳腔104内； 第一加热件201，用于对所述容纳腔104内的所述液态待蒸发介质进行加热； 微泡发生器301，位于所述液态待蒸发介质内，用于在所述液态待蒸发介质内产生微泡。
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