上海悦匠实业有限公司王开兵获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种晶圆水汽去除装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223925337U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520523871.5，技术领域涉及：F26B15/04；该实用新型一种晶圆水汽去除装置是由王开兵;刘帅设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆水汽去除装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆水汽去除装置，包括装置本体，装置本体设置于晶圆传输平台的传输腔体，传输腔体一侧设置有允许晶圆进入的传输入口，装置本体包括烘烤灯组件、烘烤腔体组件、挡光机构、温控机构；烘烤腔体组件固定于传输腔体，烘烤腔体设置有承载晶圆的承载座；温控机构设置于传输腔体内远离传输入口的一侧，温控机构包括温度传感器，温度传感器的探头固定到承载座以测量晶圆的温度，挡光机构设置于传输腔体设置有传输入口的一侧，在晶圆传输到承载座时，遮挡传输入口；烘烤灯组件设置于烘烤腔体组件的顶部与温度传感器电性连接，烘烤灯组件根据温度传感器检测的温度对晶圆进行烘烤去除水汽。
本实用新型一种晶圆水汽去除装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆水汽去除装置，其特征在于，包括装置本体，所述装置本体设置于晶圆传输平台的传输腔体，所述传输腔体一侧设置有允许晶圆进入的传输入口，所述装置本体包括烘烤灯组件、烘烤腔体组件、挡光机构、温控机构；所述烘烤腔体组件固定于所述传输腔体，所述烘烤腔体设置有承载所述晶圆的承载座；所述温控机构设置于所述传输腔体内远离所述传输入口的一侧，所述温控机构包括温度传感器，所述温度传感器的探头固定到所述承载座以测量所述晶圆的温度，所述挡光机构设置于传输腔体设置有传输入口的一侧，在所述晶圆传输到承载座时，遮挡所述传输入口；所述烘烤灯组件设置于所述烘烤腔体组件的顶部与所述温度传感器电性连接，所述烘烤灯组件根据所述温度传感器检测的温度对所述晶圆进行烘烤去除水汽。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海悦匠实业有限公司，其通讯地址为：201612 上海市松江区新桥镇民益路1698S号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励