无锡琨圣智能装备股份有限公司邵玉林获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣智能装备股份有限公司申请的专利一种槽式真空干燥设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223925257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520554145.X，技术领域涉及：F26B5/04；该实用新型一种槽式真空干燥设备是由邵玉林;李光伟;张雷;李正阳设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种槽式真空干燥设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种槽式真空干燥设备，属于硅片烘干设备技术领域。一种槽式真空干燥设备，包括具有槽体结构的设备主体、设置在所述设备主体槽内底部的至少一对花篮安置组件、设置于花篮承载区下方的若干加热元件和保护结构；保护结构包括保护件，保护件的承载面位于加热元件的上方，在纵向的投影至少部分覆盖所述的加热元件。本实用新型槽式真空干燥设备中保护结构为设置在承载区下方的加热元件提供物理防护，当发生花篮意外掉落时会先掉到保护结构的承载面上，从而避免加热元件受到损坏，保证了生产效率，同时提升了安全性。
本实用新型一种槽式真空干燥设备在权利要求书中公布了：1.一种槽式真空干燥设备，包括具有槽体结构1的设备主体、设置在所述设备主体槽内底部的至少一对花篮安置组件2和设置于花篮承载区下方的若干加热元件3，所述花篮承载区是花篮5放置于花篮安置组件上时占据的空间；其特征在于： 还包括设置于所述花篮承载区下方的保护结构；所述保护结构包括保护件，所述保护件朝向花篮承载区的一面形成承载面，所述承载面位于所述加热元件3的上方，所述保护件在纵向的投影至少部分覆盖所述的加热元件3。
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