深圳市新凯来工业机器有限公司耿华瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利一种用于密封的阀门机构、半导体设备及半导体系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223923833U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520802500.0,技术领域涉及:F16K1/00;该实用新型一种用于密封的阀门机构、半导体设备及半导体系统是由耿华瑞设计研发完成,并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于密封的阀门机构、半导体设备及半导体系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种用于密封的阀门机构、半导体设备及半导体系统,涉及阀门领域,具体为,包括:阀板,位于所述腔体内部,用于打开或密封所述第一开口;阀杆,所述阀杆的至少部分穿过所述第二开口,且所述阀杆位于所述腔体内的部分与所述阀板连接;密封组件,用于对所述阀杆与所述第二开口之间的间隙进行密封;驱动组件,与所述阀杆位于所述腔体外的部分连接,用于驱动所述阀杆以带动所述阀板运动以远离或靠近所述第一开口,以打开或者密封所述第一开口;支架,用于将所述驱动组件与所述腔体固定;本用于密封的阀门机构、半导体设备及半导体系统,能够有效解决现有技术中阀门体积大,成本高,不能满足轻量化阀门应用场景的难题。
本实用新型一种用于密封的阀门机构、半导体设备及半导体系统在权利要求书中公布了:1.一种用于密封的阀门机构,其特征在于,用于对半导体设备的腔体进行密封;所述腔体的底部具有第一开口9,所述腔体的顶部具有第二开口10; 所述阀门机构包括: 阀板8,位于所述腔体内部,用于打开或密封所述第一开口9; 阀杆5,所述阀杆5的至少部分穿过所述第二开口10,且所述阀杆5位于所述腔体内的部分与所述阀板8连接; 密封组件,用于对所述阀杆5与所述第二开口10之间的间隙进行密封; 驱动组件2,与所述阀杆5位于所述腔体外的部分连接,用于驱动所述阀杆5以带动所述阀板8运动以远离或靠近所述第一开口9,以打开或者密封所述第一开口9; 支架1,用于将所述驱动组件2与所述腔体固定。
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