广东芯粤能半导体有限公司郑龙男获国家专利权
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龙图腾网获悉广东芯粤能半导体有限公司申请的专利真空泵系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223923210U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520828802.5，技术领域涉及：F04B37/14；该实用新型真空泵系统是由郑龙男设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空泵系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空泵技术领域，公开了一种真空泵系统，包括：真空罐、第一管道、第二管道、第三管道、干泵以及增压泵；增压泵通过第一管道与真空罐连通，第一管道上设有第一阀门，第一阀门用于控制第一管道的通断；干泵的前端设有第一通气口、干泵的后端设有第二通气口，第一通气口通过第二管道与增压泵连通，第二通气口通过第三管道与真空罐连通，第三管道上设有第二阀门，第二阀门用于控制第三管道的通断。本申请运用真空罐的真空储存和释放作用，达到使干泵的前端和后端压力平衡，降低增压泵的运行功率，进而可以降低对真空泵的动力动能的全额供应，起到高效的节能及延长干泵使用寿命的作用。
本实用新型真空泵系统在权利要求书中公布了：1.一种真空泵系统，其特征在于，包括：真空罐、第一管道、第二管道、第三管道、干泵以及增压泵； 所述增压泵通过所述第一管道与所述真空罐连通，所述第一管道上设有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述第一管道的通断； 所述干泵的前端设有第一通气口、所述干泵的后端设有第二通气口，所述第一通气口通过所述第二管道与所述增压泵连通，所述第二通气口通过所述第三管道与所述真空罐连通，所述第三管道上设有第二阀门，所述第二阀门用于控制所述第三管道的通断。
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