苏州科洛尔精密制造有限公司朱永清获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州科洛尔精密制造有限公司申请的专利一种用于半导体加工设备的进气设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921630U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520359801.0，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种用于半导体加工设备的进气设备是由朱永清;李海东;夏冬波设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体加工设备的进气设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体加工设备的进气设备，涉及进气设备领域，包括进气管，所述进气管的底端设置有混气管，所述混气管的内壁设置有混气扇叶，所述混气管内腔的底壁设置有导流套，所述导流套外壁的下侧均匀开设有出气口，本新型方案能够通过设置进气管、混气管和混气扇叶等装置相配合，可以使装置便于对进入的多种气体组分的工艺气体进行混合，避免工艺腔室中的工艺气体的组分分布不均，使得衬底不同位置的反应效率一致，有利于工艺的均匀性；通过设置导流套、扰流杆和混气管等装置相配合，可以使装置便于对工艺气体进行扰流混合，使得多种气体组分的工艺气体混合更加均匀，提高装置的混合效率。
本实用新型一种用于半导体加工设备的进气设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体加工设备的进气设备，包括进气管100，其特征在于：所述进气管100的底端设置有混气管101，所述混气管101的内壁设置有混气扇叶102，所述混气管101内腔的底壁设置有导流套103，所述导流套103外壁的下侧均匀开设有出气口，所述进气管100的右侧壁设置有电机104，所述电机104的输出端设置有齿轮105，所述混气管101的外壁设置有齿环106，所述齿环106与所述齿轮105相啮合，所述混气管101的底端设置有进气盘107，所述进气盘107的底壁均匀开设有布气口。
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