麦斯克电子材料股份有限公司武钰栋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种大尺寸硅片的外延沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520573197.1，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型一种大尺寸硅片的外延沉积装置是由武钰栋;仝泉;贾豪强设计研发完成，并于2025-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸硅片的外延沉积装置在说明书摘要公布了：一种大尺寸硅片的外延沉积装置，包括石墨基座和设置在石墨基座中部的喷嘴，在石墨基座上位于喷嘴的外周间隔设有多层隔热环，且各层隔热环的导热率不同。本实用新型能够有效隔离石墨基座热辐射对喷嘴的影响，从而减少沉积物生成，提升外延硅片表面质量。
本实用新型一种大尺寸硅片的外延沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸硅片的外延沉积装置，包括石墨基座2和设置在石墨基座2中部的喷嘴1，其特征在于：在石墨基座2上位于喷嘴1的外周间隔设有多层隔热环4，且各层隔热环4的导热率不同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦斯克电子材料股份有限公司，其通讯地址为：471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励