东莞市明胜纳米科技有限公司方石胜获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市明胜纳米科技有限公司申请的专利一种用于PECVD反应腔的气体分散装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921551U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520357571.4，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种用于PECVD反应腔的气体分散装置是由方石胜设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于PECVD反应腔的气体分散装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于PECVD反应腔的气体分散装置，涉及气体分散装置技术领域。本申请提供一种用于PECVD反应腔的气体分散装置，包括：壳体，其包括固定底座和至少一个设置支撑体，固定底座具有容置腔，支撑体具有与容置腔连通的导流通道；分散座，其具有贯通的通孔，通孔的进气端用于与进气装置连通，通孔的出气端与固定底座可转动地连接，通孔的出气端与容置腔连通；其中，支撑体沿远离固定底座的方向延伸，导流通道的出口端贯通支撑体的外壁，导流通道的出口端的开口方向以通孔的轴线为母线、逆时针或顺时针设置，以当气流从导流通道的出口端喷出时，能够驱动壳体绕母线旋转。
本实用新型一种用于PECVD反应腔的气体分散装置在权利要求书中公布了：1.一种用于PECVD反应腔的气体分散装置，其特征在于，包括： 壳体，其包括固定底座和至少一个设置支撑体，所述固定底座具有容置腔，所述支撑体具有与所述容置腔连通的导流通道； 分散座，其具有贯通的通孔，所述通孔的进气端用于与进气装置连通，所述通孔的出气端与所述固定底座可转动地连接，所述通孔的出气端与所述容置腔连通； 其中，所述支撑体沿远离所述固定底座的方向延伸，所述导流通道的出口端贯通所述支撑体的外壁，所述导流通道的出口端的开口方向以所述通孔的轴线为母线、逆时针或顺时针设置，以当气流从所述导流通道的出口端喷出时，能够驱动所述壳体绕所述母线旋转。
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