江西汉可泛半导体技术有限公司黄海宾获国家专利权
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龙图腾网获悉江西汉可泛半导体技术有限公司申请的专利一种用于镀膜设备的载板、载板组件以及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223921548U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520575533.6,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于镀膜设备的载板、载板组件以及镀膜设备是由黄海宾;刘翠翠设计研发完成,并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于镀膜设备的载板、载板组件以及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种用于镀膜设备的载板、载板组件以及镀膜设备,所述载板包括:载板主体,具有用于承载基材的上表面和下表面;边缘减薄部位,形成于所述载板主体的外周,所述边缘减薄部位的厚度小于所述载板主体的厚度。通过本申请实施例提供的载板的结构可以有效降低载板加热变形的不均匀性并降低载板在工作循环中的翘曲变形量,满足正常生产的碎片率需求和镀膜均匀性要求。
本实用新型一种用于镀膜设备的载板、载板组件以及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种用于镀膜设备的载板,其特征在于,所述载板包括: 载板主体,具有用于承载基材的上表面; 边缘减薄部位,形成于所述载板主体的外周; 其中,所述边缘减薄部位的厚度小于所述载板主体的厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西汉可泛半导体技术有限公司,其通讯地址为:332020 江西省九江市共青城市高新区火炬五路以北, 科技二大道以东(汉可泛半导体智能装备制造产业园一期)厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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