郑州势垒科技有限公司丁佩获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州势垒科技有限公司申请的专利一种用于MPCVD设备的基片台调整装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223921546U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520319648.9,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于MPCVD设备的基片台调整装置是由丁佩;许坤;段向阳;杨鹏设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MPCVD设备的基片台调整装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的基片台调整装置,涉及调整装置技术领域,包括底盘和调整组件;底盘:上端安装有导向组件;调整组件:包含固定柱、条形口、移动块、螺纹杆、固定架、安装盘和第一电机,所述底盘的上端固定有固定柱,所述固定柱的圆周面上开设有条形口,所述条形口的内部滑动连接有移动块,所述移动块的侧面上固定有固定架,所述固定架的上侧固定有安装盘,所述移动块的中部开设有螺纹孔,所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆转动连接在条形口的内部,所述固定柱的下端开设有凹槽,能够自动对基片台的高度进行调整,调整的过程中能够保证基片台的稳定,并且避免存在出现误差。
本实用新型一种用于MPCVD设备的基片台调整装置在权利要求书中公布了:1.一种用于MPCVD设备的基片台调整装置,其特征在于:包括底盘1和调整组件2; 底盘1:上端安装有导向组件3; 调整组件2:包含固定柱21、条形口22、移动块23、螺纹杆24、固定架25、安装盘26和第一电机27,所述底盘1的上端固定有固定柱21,所述固定柱21的圆周面上开设有条形口22,所述条形口的内部滑动连接有移动块23,所述移动块23的侧面上固定有固定架25,所述固定架25的上侧固定有安装盘26,所述移动块23的中部开设有螺纹孔,所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆24,所述螺纹杆24转动连接在条形口22的内部,所述固定柱21的下端开设有凹槽,所述凹槽的内部安装有第一电机27,所述第一电机27的输出轴固定在螺纹杆24的下端,所述导向组件3与固定架25相连,所述条形口22的内部安装有感应组件4和测量组件5,所述感应组件4和测量组件5相配合,所述第一电机27的输入端电连接外部的PLC控制器的输出端。
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