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郑州势垒科技有限公司丁佩获国家专利权

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龙图腾网获悉郑州势垒科技有限公司申请的专利一种用于MPCVD设备的基片台调整装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223921546U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520319648.9,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于MPCVD设备的基片台调整装置是由丁佩;许坤;段向阳;杨鹏设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于MPCVD设备的基片台调整装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的基片台调整装置,涉及调整装置技术领域,包括底盘和调整组件;底盘:上端安装有导向组件;调整组件:包含固定柱、条形口、移动块、螺纹杆、固定架、安装盘和第一电机,所述底盘的上端固定有固定柱,所述固定柱的圆周面上开设有条形口,所述条形口的内部滑动连接有移动块,所述移动块的侧面上固定有固定架,所述固定架的上侧固定有安装盘,所述移动块的中部开设有螺纹孔,所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆转动连接在条形口的内部,所述固定柱的下端开设有凹槽,能够自动对基片台的高度进行调整,调整的过程中能够保证基片台的稳定,并且避免存在出现误差。

本实用新型一种用于MPCVD设备的基片台调整装置在权利要求书中公布了:1.一种用于MPCVD设备的基片台调整装置,其特征在于:包括底盘1和调整组件2; 底盘1:上端安装有导向组件3; 调整组件2:包含固定柱21、条形口22、移动块23、螺纹杆24、固定架25、安装盘26和第一电机27,所述底盘1的上端固定有固定柱21,所述固定柱21的圆周面上开设有条形口22,所述条形口的内部滑动连接有移动块23,所述移动块23的侧面上固定有固定架25,所述固定架25的上侧固定有安装盘26,所述移动块23的中部开设有螺纹孔,所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆24,所述螺纹杆24转动连接在条形口22的内部,所述固定柱21的下端开设有凹槽,所述凹槽的内部安装有第一电机27,所述第一电机27的输出轴固定在螺纹杆24的下端,所述导向组件3与固定架25相连,所述条形口22的内部安装有感应组件4和测量组件5,所述感应组件4和测量组件5相配合,所述第一电机27的输入端电连接外部的PLC控制器的输出端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人郑州势垒科技有限公司,其通讯地址为:451162 河南省郑州市航空港区经济综合实验区如云路与梅河路叉口恒丰科创中心11号楼2楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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