上海洁安流体科技有限公司赵英杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海洁安流体科技有限公司申请的专利一种高纯气体供气盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223921545U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520597080.7,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种高纯气体供气盘是由赵英杰;陆小帅设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高纯气体供气盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及供气盘领域,具体是一种高纯气体供气盘,包括盘体,所述盘体上安装有压力表、减压阀、单向阀和低压膜片阀,低压膜片阀的一侧与减压阀的一侧相连,减压阀的另一侧与单向阀的一侧相连,盘体上还安装有压力传感器和气动膜片阀,气动膜片阀位于减压阀和单向阀之间,压力传感器位于压力表和减压阀之间。本产品通过在盘体进行高度集成化设计,可以显著提升操作效率、空间利用率、安全性以及合规性;本产品通过气动膜片阀、压力表的浓度报警以及压力传感器的联动,可以实现自动化;本产品在旁路上安装有单向阀,可以防止气体倒流,进而防止串气。
本实用新型一种高纯气体供气盘在权利要求书中公布了:1.一种高纯气体供气盘,包括盘体,所述盘体上安装有压力表、减压阀、单向阀和低压膜片阀,低压膜片阀的一侧与减压阀的一侧相连,减压阀的另一侧与单向阀的一侧相连,其特征在于,盘体上还安装有压力传感器和气动膜片阀,气动膜片阀位于减压阀和单向阀之间,压力传感器位于压力表和减压阀之间。
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