上海洁安流体科技有限公司赵英杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海洁安流体科技有限公司申请的专利一种单侧供气盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921544U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520597074.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种单侧供气盘是由赵英杰;陆小帅设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单侧供气盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及供气盘领域，具体是一种单侧供气盘，包括盘体，所述盘体上安装有隔膜阀、减压阀、单向阀和膜片阀，隔膜阀与减压阀的一侧相连，减压阀的另一侧与单向阀的一侧相连，盘体上还安装有精密过滤器，精密过滤器的一侧与单向阀的另一侧相连，精密过滤器的另一侧与膜片阀相连。本产品通过在减压阀的出口处配备精密过滤器，可以保持后端气体的使用洁净度，进而可以满足CVD设备生产的基础需求，持续为CVD设备供气。
本实用新型一种单侧供气盘在权利要求书中公布了：1.一种单侧供气盘，包括盘体，所述盘体上安装有隔膜阀、减压阀、单向阀和膜片阀，隔膜阀与减压阀的一侧相连，减压阀的另一侧与单向阀的一侧相连，其特征在于，盘体上还安装有精密过滤器，精密过滤器的一侧与单向阀的另一侧相连，精密过滤器的另一侧与膜片阀相连。
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