江苏微导纳米科技股份有限公司荒见淳一获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利喷淋装置及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921543U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520594742.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型喷淋装置及沉积设备是由荒见淳一设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋装置及沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种喷淋装置及沉积设备，包括：喷淋腔体，内部中空且底部间隔地设有若干个喷淋孔；分隔板，设于喷淋腔体内且将喷淋腔体内的空间分隔为上层空间和下层空间，分隔板底面间隔地设有若干个导流件，导流件穿过下层空间并伸入对应的喷淋孔内，导流件与喷淋孔的孔壁之间形成有狭缝，狭缝与下层空间连通；通道，穿过分隔板和导流件，通道与上层空间连通。本实用新型中下层空间内的工艺气体可以通过导流件与喷淋孔的孔壁之间的狭缝进入反应腔室，上层空间内的工艺气体可以通过通道进入喷淋孔，再进入反应腔室。单个喷淋孔能够同时作为上层空间和下层空间内工艺气体的流通通道，通过优化工艺气体的流通路径，避免影响沉积的速率和均匀性。
本实用新型喷淋装置及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋装置，其特征在于，包括： 喷淋腔体，内部中空且底部间隔地设有若干个喷淋孔； 分隔板，设于所述喷淋腔体内且将所述喷淋腔体内的空间分隔为上层空间和下层空间，所述分隔板的底面间隔地设有若干个导流件，所述导流件与所述喷淋孔一一对应设置，所述导流件穿过所述下层空间并伸入对应的喷淋孔内，所述导流件与所述喷淋孔的孔壁之间形成有狭缝，所述狭缝与所述下层空间连通； 通道，与所述导流件一一对应设置，所述通道穿过所述分隔板和对应的所述导流件，所述通道与所述上层空间连通。
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