江苏微导纳米科技股份有限公司荒见淳一获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利分气装置及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520594688.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型分气装置及沉积设备是由荒见淳一设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本分气装置及沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种分气装置及沉积设备，包括：壳体，内部中空且设有第一通道、容置空间以及N个第二通道，容置空间分别与第一通道和N个第二通道连通，第一通道用于与远程等离子体源连接，第二通道用于与喷淋板连通或者通过导气管路与喷淋板连通；旋转阀本体，可转动地设于容置空间内，旋转阀本体包括对应第一通道设置的进口以及与进口连通的N个出口；驱动件，与旋转阀本体驱动连接且用于驱动旋转阀本体转动。本实用新型通过驱动件的驱动，旋转阀本体可以在打开位置和关闭位置之间切换，从而通过一个旋转阀本体就可以实现对N个第二通道的清洁气体的通断控制，简化了整个分气装置的结构，降低了装置的制造成本。
本实用新型分气装置及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种分气装置，其特征在于，包括： 壳体，内部中空且设有第一通道、容置空间以及N个第二通道，所述容置空间分别与所述第一通道和N个所述第二通道连通，所述第一通道用于与远程等离子体源连接，所述第二通道用于与喷淋板连通或者通过导气管路与所述喷淋板连通，N为正整数； 旋转阀本体，可转动地设于所述容置空间内，所述旋转阀本体包括对应所述第一通道设置的进口以及与所述进口连通的N个出口，所述出口与所述第二通道一一对应设置； 驱动件，与所述旋转阀本体驱动连接且用于驱动所述旋转阀本体转动。
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