江苏微导纳米科技股份有限公司陆亦诚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种可调注气挡板及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921541U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520577385.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种可调注气挡板及沉积设备是由陆亦诚;吴围;赵光辉;郑子文设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调注气挡板及沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可调注气挡板及沉积设备，该可调注气挡板主要包括阻挡板和堵孔件，阻挡板开设通气孔以供气流通过并进入反应腔，堵孔件设置于阻挡板远离反应腔的一侧，并能够在垂直于阻挡板的方向进行调节；堵孔件在沿垂直于阻挡板的方向调节至第一位置时，对阻挡板上的至少部分通气孔实现封堵以阻断气流通过路径。本实用新型通过增设堵孔件，以能够对阻挡板上的通气孔状态进行调节，进而实现对进入反应腔内气流的流场，而在反应腔内成品膜出现不均匀沉积情况时对气体流场进行封堵调节，而提升沉积均匀性，以提升成品膜的良品率。
本实用新型一种可调注气挡板及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种可调注气挡板，其特征在于，包括阻挡板和堵孔件，所述阻挡板开设通气孔以供气流通过并进入反应腔，所述堵孔件设置于所述阻挡板远离所述反应腔的一侧，并能够在垂直于所述阻挡板的方向进行调节； 所述堵孔件在沿垂直于所述阻挡板的方向调节至第一位置时，对所述阻挡板上的至少部分通气孔实现封堵以阻断气流通过路径。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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