天合光能股份有限公司钱靖宇获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利一种原子沉积设备的匀流装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921540U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520383825.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子沉积设备的匀流装置是由钱靖宇;罗广策;周兴宝设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子沉积设备的匀流装置在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种原子沉积设备的匀流装置，包括尾气管主体，所述尾气管主体一端具有干路管道，且所述尾气管主体另一端间距设置有多个支路管道，每个所述支路管道端部具安装有限流板，所述限流板端面具有限流口，以所述干路管道为界，远离所述干路管道的限流板其限流口口径依次增大。本实用新型通过在各支路管道上设置限流板，且越靠近干路管道的限流板其限流口口径越小，这使得能够一定程度上保证了各支路管道抽气的均匀性，即使得设备尾气排放更为均匀，有效提升了设备生产的产品的一致性。
本实用新型一种原子沉积设备的匀流装置在权利要求书中公布了：1.一种原子沉积设备的匀流装置，其特征在于，包括尾气管主体； 所述尾气管主体一端具有干路管道，且所述尾气管主体另一端间距设置有多个支路管道； 每个所述支路管道端口处均安装有限流板，所述限流板端面具有限流口； 以所述干路管道为界，远离所述干路管道的限流板其限流口口径依次增大。
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