宁波广晟电子科技有限公司张宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波广晟电子科技有限公司申请的专利一种电池芯板化学气相沉积炉的分散排气机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223921539U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520310638.9,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种电池芯板化学气相沉积炉的分散排气机构是由张宏设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电池芯板化学气相沉积炉的分散排气机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种电池芯板化学气相沉积炉的分散排气机构,包括设于化学气相沉积炉底板进气口处的盖板。本实用新型通过盖板、底座、密封环、第一分层环、第二分层环、第三分层环、第四分层环、加热件、分流板、流通口、通气口和排气口的配合,能够气体依次穿过第一分层环和第二分层环之间的空隙、第二分层环和第三分层环之间的空隙,这时通过加热件对气体进行预热,然后通过第四分层环的排气口进行排出,从而能够延长气体的流通路径,并能够对其进行充分预热,然后通过分流孔、排气管、导流盖和出气孔的配合,能够对预热后的气体均匀的改善马弗筒内的气氛均匀性,从而提高电池芯板表面的涂层均匀性和质量。
本实用新型一种电池芯板化学气相沉积炉的分散排气机构在权利要求书中公布了:1.一种电池芯板化学气相沉积炉的分散排气机构,包括设于化学气相沉积炉底板进气口处的盖板1,其特征在于:所述盖板1的底部固定连接有底座2,所述底座2的顶部固定连接有密封环3,所述底座2的内壁由外到内依次固定连接有第一分层环4、第二分层环5、第三分层环6和第四分层环7,且第一分层环4、第二分层环5、第三分层环6和第四分层环7均与盖板1配合使用,所述第一分层环4、第二分层环5、第三分层环6和第四分层环7的表面对称固定连接有加热件8,所述第一分层环4、第二分层环5、第三分层环6和第四分层环7之间固定连接有同一分流板9,且分流板9与盖板1配合使用,所述第一分层环4靠近盖板1的一侧固定连接有流通口10,所述第二分层环5和第三分层环6靠近盖板1的一侧均开设有通气口11,且两个通气口11关于分流板9呈交错设置,所述第四分层环7靠近盖板1的一侧开设有排气口12,所述盖板1的顶部开设有若干个分流孔13,且若干个分流孔13呈环形均匀排列,所述分流孔13的顶部开设有连接槽,所述连接槽的内部连通有排气管14,所述排气管14的输出端连通有导流盖15,所述导流盖15的顶部开设有若干个出气孔16,且若干个出气孔16呈环形均匀排列。
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