艾华(无锡)半导体科技有限公司黄上崇获国家专利权
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龙图腾网获悉艾华(无锡)半导体科技有限公司申请的专利炉尾抽气腔带栅板结构的管式ALD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921538U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520230264.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型炉尾抽气腔带栅板结构的管式ALD设备是由黄上崇;陈龙设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉尾抽气腔带栅板结构的管式ALD设备在说明书摘要公布了：本实用新型是炉尾抽气腔带栅板结构的管式ALD设备，其结构包括腔体、载具、栅板结构和抽气腔，其中腔体内设置载具，腔体尾部连接抽气腔，腔体尾部与抽气腔连接处分隔有设有疏密程度可调的栅板结构。本实用新型的优点：结构设计合理，通过在管式ALD的炉尾抽气腔增加可调节疏密程度的栅叶板结构，实现了根据需要优化调整抽气腔气流分布，从而改善Al22O33薄膜沉积效果，可提高薄膜均匀性。
本实用新型炉尾抽气腔带栅板结构的管式ALD设备在权利要求书中公布了：1.炉尾抽气腔带栅板结构的管式ALD设备，其特征在于，包括腔体1、载具2、栅板结构3和抽气腔4，其中腔体1内设置载具2，腔体1尾部连接抽气腔4，腔体1尾部与抽气腔4连接处分隔有设有疏密程度可调的栅板结构3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾华(无锡)半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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