扬州德沪智能装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州德沪智能装备有限公司申请的专利ALD源瓶获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921537U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520565530.4，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型ALD源瓶是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本ALD源瓶在说明书摘要公布了：本实用新型公开了ALD源瓶，属于ALD镀膜设备技术领域。ALD源瓶包括瓶体、测量连接管及浮球式液位传感器；测量连接管的底端伸入瓶体内，顶端沿Z轴向上密封穿出至瓶体外；浮球式液位传感器位于瓶体内，测量连接管上沿Z轴间隔连接有若干浮球式液位传感器，若干浮球式液位传感器用于对应检测瓶体内的液态反应源的各个液位。通过若干浮球式液位传感器能够保证获取到的液位高度信息多样，以能够根据获取的不同液位高度信息及时向瓶体内补液或提示液位报警；并且，采用可靠性高的浮球式液位传感器检测液位高度信息，能够消除由于瓶体内的压力的反复变化而导致的压力传感检测方式有偏差的问题，进而能够保证获取的液位高度的准确性和可靠性。
本实用新型ALD源瓶在权利要求书中公布了：1.ALD源瓶，其特征在于，包括： 瓶体1，其内置放有液态反应源； 测量连接管2，其底端伸入所述瓶体1内，顶端沿Z轴向上密封穿出至所述瓶体1外； 浮球式液位传感器3，位于所述瓶体1内，所述测量连接管2上沿Z轴间隔连接有若干所述浮球式液位传感器3，若干所述浮球式液位传感器3用于对应检测所述瓶体1内的所述液态反应源的各个液位。
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