马鞍山怡达新能源有限公司赵亮获国家专利权
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龙图腾网获悉马鞍山怡达新能源有限公司申请的专利一种气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921535U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520360161.5，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种气相沉积设备是由赵亮设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气相沉积设备，包括反应系统，所述反应系统上设置有控流机构，所述控流机构包括控制套、活动仓、控制块、通孔、转动套、配合套、螺杆和推套，控制套安装在反省系统进入端，活动槽设置在控制套内，控制块设置有多组滑动在活动仓内，通孔设置有多组分布在多组控制块上，转动套转动安装在控制套顶端，配合套安装在转动套内侧，螺杆螺纹连接在配合套内，推套安装在螺杆顶端，实现了稳定的气体供应，气体经过连接管进入控制套后，通过转动套、配合套和螺杆的精密配合，实现了推套的精确升降控制，推套的斜面设计与控制块的滑动配合，使得控制块能够在活动仓内进行平稳移动，通过控制块上的通孔开合程度来实现气体流量的精确调节。
本实用新型一种气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，包括反应系统1，其特征是：所述反应系统1上设置有控流机构，所述控流机构包括控制套2、活动仓3、控制块4、通孔5、转动套6、配合套7、螺杆8和推套9，控制套2安装在反省系统进入端，活动槽设置在控制套2内，控制块4设置有多组滑动在活动仓3内，通孔5设置有多组分布在多组控制块4上，转动套6转动安装在控制套2顶端，配合套7安装在转动套6内侧，螺杆8螺纹连接在配合套7内，推套9安装在螺杆8顶端，所述转动套6顶端转动连接设有连接管10，所述连接管10顶端连接设有波纹管11，所述波纹管11与外界气体输送系统连接。
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