苏州研杰五金科技有限公司尹路平获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州研杰五金科技有限公司申请的专利一种分区式多层镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921532U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520560815.9，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种分区式多层镀膜装置是由尹路平;杨昌胜;王振峰设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分区式多层镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体是涉及一种分区式多层镀膜装置。本实用新型的分区式多层镀膜装置，主要包括真空腔室、多个镀膜区和传送装置；多个镀膜区相邻设置；镀膜区包括靶材、电源和磁场装置；靶材固定于镀膜区的内壁上；电源通过电缆与靶材相连；磁场装置设置于靶材的背部；多个镀膜区设有相应的靶材、电源和磁场装置；镀膜区的数量可调整；相邻的两个镀膜区之间设有隔离板；传送装置包括夹具；夹具上固定有基材；传送装置带动基材在多个镀膜区间移动；基材和靶材相对设置。本实用新型的分区式多层镀膜装置，可以对基材表面进行多层镀膜，以满足不同的镀膜需求，避免镀膜过程中基材的污染或损伤，提高镀膜质量。
本实用新型一种分区式多层镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种分区式多层镀膜装置，其特征在于：包括真空腔室1、多个镀膜区2和传送装置3；所述多个镀膜区2设置于真空腔室1内；所述多个镀膜区2相邻设置；所述镀膜区2包括靶材21、电源22和磁场装置23；所述靶材21固定于镀膜区2的内壁上； 所述电源22安装于真空腔室1的外部；所述电源22通过电缆与靶材21相连；所述磁场装置23设置于靶材21的背部；所述多个镀膜区2设有相应的靶材21、电源22和磁场装置23；所述镀膜区2的数量可调整；所述相邻的两个镀膜区2之间设有隔离板24；所述传送装置3包括夹具31；所述夹具31上固定有基材32；所述传送装置3带动基材32在多个镀膜区2间移动；当所述基材32移动到镀膜区2时，基材32和靶材21相对设置。
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